Mae technoleg sputtering Magnetron (PVD) yn un o'r technolegau allweddol ar gyfer paratoi deunyddiau ffilm tenau. Mae deunyddiau targed sputtering titaniwm purdeb uchel yn nwyddau traul allweddol yn y broses chwistrellu magnetron ac mae ganddynt ragolygon cymhwyso marchnad eang. Fel deunydd cotio gwerth ychwanegol uchel, mae gan ddeunyddiau targed titaniwm ofynion llym o ran purdeb cemegol, microstrwythur a pherfformiad, ac maent yn dechnegol iawn ac yn anodd eu prosesu.
Defnyddir deunyddiau targed Magnetron sputtering titaniwm yn bennaf yn y diwydiannau electronig a gwybodaeth, megis cylchedau integredig, arddangosfeydd panel fflat, a chaeau cotio addurniadol yn y diwydiannau addurno cartref a modurol, megis cotio addurniadol gwydr a chaenen addurniadol canolbwynt olwyn, fel y dangosir yn Ffigur 1. Mae'r gofynion ar gyfer deunyddiau targed titaniwm mewn gwahanol ddiwydiannau hefyd yn amrywio'n fawr, yn bennaf gan gynnwys purdeb, microstrwythur, perfformiad weldio, a chywirdeb dimensiwn. Mae purdeb deunyddiau targed titaniwm ar gyfer cylchedau integredig yn bennaf yn uwch na 99.995%, ac ar hyn o bryd, maent yn dibynnu'n bennaf ar fewnforion. Yn y farchnad ar gyfer deunyddiau targed titaniwm a ddefnyddir mewn arddangosfeydd panel gwastad, y farchnad arddangos grisial hylif (LCD) yw'r mwyaf, sy'n cyfrif am fwy na 90%. Ystyrir mai LCD yw'r ddyfais arddangos panel fflat mwyaf addawol ar hyn o bryd. Mae ei ymddangosiad wedi ehangu ystod y cymwysiadau o arddangosiadau yn fawr, o arddangosiadau cyfrifiaduron nodlyfr, monitorau cyfrifiaduron pen desg, setiau teledu LCD diffiniad uchel i gyfathrebu symudol. Mae cynhyrchion LCD newydd amrywiol yn effeithio ar arferion byw pobl ac yn gyrru datblygiad cyflym diwydiant gwybodaeth y byd.
Mae purdeb deunyddiau targed titaniwm yn cael effaith sylweddol ar berfformiad ffilmiau sputtered. Po uchaf yw'r purdeb, y llai o ronynnau elfen amhuredd yn y ffilm titaniwm sputtered, gan arwain at well perfformiad ffilm, gan gynnwys gwell ymwrthedd cyrydiad ac eiddo trydanol ac optegol. Yn gyffredinol, mae gan ddeunyddiau targed titaniwm strwythur polycrystalline, gyda meintiau grawn yn amrywio o ficromedrau i filimetrau. Mae gan ddeunyddiau targed graen gyfradd gyflymach o boeri na rhai bras. Ar gyfer targedau gyda meintiau grawn tebyg ar yr wyneb sputtering, mae dosbarthiad trwch y ffilm sputtered a adneuwyd hefyd yn fwy unffurf.
